半導体レーザアレイ装置,半導体レーザ装置,及びそれらの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早瀬憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-230392
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334262
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】能率的に製造することのできる半導体レーザチップ,モニタホトダイオード,及びレンズを一体化した半導体レーザ装置及びその製造方法を得る。【構成】各々に位置決めのための構造を有する半導体レーザチップアレイ12,モニタホトダイオードアレイ13,及びレンズアレイ14を、これらに対応する位置決めの構造を持つ支持基板11に一括して配列し固定した後、各構成単位に分離する。【効果】多数を一度に配列、固定することによって、作業能率を高めることができる効果がある。また、ウエハ状態で自動検査できるようにして、さらに、生産性を高めることができる効果がある。

請求項（抜粋）：

半導体レーザ装置のアレイを構成する半導体レーザアレイ装置において、半導体レーザチップアレイは、所定のチップ幅を有する複数の半導体レーザチップをアレイ状に連ねてなり、該レーザチップアレイは、バー形状の支持基板上に、該レーザチップの光軸方向,及び支持基板の長手方向,及び高さ方向に位置決めされて、該支持基板の長手方向に搭載載置され、モニタホトダイオードアレイは、上記半導体レーザチップアレイと同じ周期で、複数のモニタホトダイオードをアレイ状に連ねてなり、該モニタホトダイオードアレイは、上記バー形状の支持基板上に、上記レーザチップの光軸方向,及び支持基板の長手方向,及び高さ方向に位置決めされて、該支持基板の長手方向に搭載載置され、複数のレンズは、上記バー形状の支持基板上に、上記レーザチップの光軸方向,及び支持基板の長手方向,及び高さ方向に位置決めされて、上記半導体レーザチップアレイと同じ周期で、上記支持基板の長手方向に搭載載置され、上記半導体レーザチップアレイ,モニタホトダイオードアレイ,及び複数のレンズの、各半導体レーザチップ,モニタホトダイオード,及びレンズにより、個々の半導体レーザ装置を構成していることを特徴とする半導体レーザアレイ装置。

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