特許

J-GLOBAL ID：200903046583890128

窒化珪素質焼結体とその製造方法

発明者： 秋山 勝徳 ,  平田 武彦 ,  村上 勇一郎 ,  山本 博一
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272793
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122556
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 高温、高強度、耐酸化性、耐摩耗性等が要求される機械部品に用いる窒化珪素質焼結体とその製造方法に関する。【構成】 ?@ 窒化珪素を80〜97重量%、酸化アルミニウムを0.5〜10重量%および酸化イットリウムを2〜15重量%からなる組成で、かつ焼結体中の窒化珪素粒子の間隙である粒界部が安定な結晶質ガラス質であるY2 Si3 O3 N4 またはSi2 N2 Oの微結晶で構成された組織となっている窒化珪素質焼結体、及び?A 窒化珪素粉末を80〜97重量%、酸化アルミニウム粉末を0.5〜10重量%および酸化イットリウム粉末を2〜15重量%混合した平均粒径が2μm以下の混合粉体を成型し、窒素ガス雰囲気中で1500〜2000°Cで焼成した後、900〜970°Cの範囲まで20°C/min.以上で降温し、5分以上保持した後、再び1200〜1300°Cの範囲に昇温し、2時間以上保持する上記?@記載の窒化珪素質焼結体の製造方法。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を80〜97重量%、酸化アルミニウムを0.5〜10重量%および酸化イットリウムを2〜15重量%からなる組成で、かつ焼結体中の窒化珪素粒子の間隙である粒界部が安定な結晶質ガラス質であるY2 Si3 O3 N4 またはSi2 N2 Oの微結晶で構成された組織となっていることを特徴とする窒化珪素質焼結体。