特許
J-GLOBAL ID：200903046585707312
DUVに使用可能な同焦点IRフォーカス形顕微鏡対物レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042224
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、少なくとも0.80の開口数および短い焦点距離を有しIRオートフォーカスに使用可能な極めて良好に修正されたDUV対物レンズを提供する。【解決手段】 上記課題は、a)DUVフォーカスが、DUV波長範囲λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さくなるようDUV対物レンズを構成することにより解決される。
請求項（抜粋）：
石英ガラス及び蛍石からなるレンズ群を含み、DUV波長λDUV≧235nmにDUVフォーカスを有し且つ短い焦点距離を有する、DUVに適切な顕微鏡対物レンズにおいて、a)該DUVフォーカスが、DUV波長領域λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)該対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さいことを特徴とする対物レンズ。
IPC (4件)：
G02B 21/02
, G02B 1/02
, G02B 13/24
, G02B 21/16
G02B 21/02 A
, G02B 1/02
, G02B 13/24
, G02B 21/16
