有機物の蒸着方法及びこの方法に用いられる蒸着装置ならびに蒸発源

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-128791
公開番号（公開出願番号）：特開2003-321765
出願日： 2002年04月30日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】蒸着材料が有機材料であっても、有機材料に熱ダメージを与えることなく、しかも伝熱効果を高めて、蒸発材料の溶融を均一に促進させることができ、均一で不純物の少ない良質な蒸着膜を効率よく形成することができ、しかも、大型基板にも同様に対応できる蒸発源、蒸着装置および蒸着方法を提供することを目的とする。【解決手段】蒸発源4は、蒸着材料5を収容する開口部40を備えた筐体41と、この蒸着材料5を筐体41内に供給する材料供給部6と、筐体41内の蒸着材料5内に混入される発熱体8と、この発熱体8の近傍かつ筐体41の外周に設けられる発熱体8を誘導加熱するためのIHコイル7bと、この発熱体8を攪拌するための攪拌部9とによって構成されている。

請求項（抜粋）：

蒸着材料を蒸発させ、その蒸発分子を基板に導くことにより、薄膜を形成する蒸着装置に具備される蒸発源であって、蒸着材料を収容する開口部を備えた筐体と、この蒸着材料を筐体内に供給する材料供給部と、上記筐体内の蒸着材料内に混入される発熱体と、この発熱体近傍かつ上記筐体の外周に設けられ、この発熱体を誘導加熱するための誘導加熱体と、この発熱体を攪拌する攪拌部とが具備されていることを特徴とする蒸発源。

IPC (4件)：

C23C 14/12 , C23C 14/26 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (4件)：

C23C 14/12 , C23C 14/26 B , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB17 , 4K029DB19

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