特許

J-GLOBAL ID：200903046588865997

走査型プローブ顕微鏡の探針および力検出方法

発明者： 中野 勝志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344143
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160334
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【目的】 半導体試料の微細な溝などに差し入れることが可能で、かつ試料内壁との間の相互作用力を高感度で検出することが可能な、走査型プローブ顕微鏡の探針とその探針に作用する力の検出方法を提供する。【構成】 走査型プローブ顕微鏡の探針は支持部(2)と、探針部(4)と、前記支持部と前記探針部との間に設けられて前記探針部と試料との間の相互作用を検出する検出部(3)とを備え、前記検出部および探針部が実質的に同一軸上に形成される。検出部と探針部は同一軸上に形成されているので空間的な制約が少なく、試料の微細な溝などに差し入れることが可能となる。また、この探針にねじれの共振運動を励起し、探針部に力が作用することで生じる探針のねじれ振動状態の変化を検出すれば、探針部と試料との間に作用する相互作用力を高感度で検出することができる。

請求項（抜粋）：

支持部と、探針部と、前記支持部と前記探針部との間に設けられ、前記探針部と試料との相互作用を検出する検出部と、を具備し、前記検出部および探針部が実質的に同一軸上に形成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 41/08 ,  G01R 33/10

FI (4件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 33/10 ,  H01L 41/08 Z