特許
J-GLOBAL ID：200903046590788150
多軸測長機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223500
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068411
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 直交する2方向での測長を連続して行うことができる多軸測長機の提供【解決する手段】 多軸干渉計14は、角箱状のハウジング30と、ハウジング30内に収装された取付け基板32と、一対のリニアガイド34にスライダ36を介して平行移動可能に設置されるステージ38と、ステージ38上に取付け台40を介して設置された干渉計本体42とを備えている。干渉計本体42は、ステージ38の長手方向に沿って配置され、入射窓部62に下部側面を対向させ、レーザ出射窓部64に上部側面を対向させた偏光ビームスプリッタ68を共用光学部品とし、1/4波長板70のみを配置した部位と、出射方向が下向きとなるようにペンタプリズム,1/4波長板を設けた部位と、出射方向が上向きになるようにペンタプリズム,1/4波長板を設けた部位と、出射方向が横向きとなるようにペンタプリズム,1/4波長板を設けた部位とに区分されている。
請求項（抜粋）：
レーザ光の送光部と干渉光の受光部とを内蔵したレーザヘッドと、前記送光部及び受光部の光軸上に配置され、かつ入射したレーザ光を、少なくとも直交する2つの方向に分光させて出射させる分光機構とその切替え機構とを内蔵した多軸干渉計と、被測定物側の測定位置に固定されて、前記光学屈折機構から出射したレーザ光を受けて前記多軸干渉計側に反射する反射ターゲットと、前記切替え機構を制御するコントローラとを備えたことを特徴とする多軸測長機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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特開昭62-055501
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特開平4-319609
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特開昭62-179602
審査官引用 (1件)
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