超純水製造方法及び超純水製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160893
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355683
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】【課題】超純水の製造システムにおいて、安価にかつ効率的なTOC除去を行う。【解決手段】原水を除濁装置1で除濁し、酸を添加してpH調整した後、膜脱気装置2の水室に導入すると共に、気室に酸素含有ガスを供給して膜脱気する。CO2が除去され、DOを飽和状態で含有する膜脱気水をUV酸化装置又は生物活性炭塔のTOC分解装置3でTOCを分解除去し、更にRO膜分離装置4等で脱塩処理する。TOC分解装置3において、十分量のDOの存在下効率的なTOC分解を行うことができる。

請求項（抜粋）：

被処理水を除濁処理する除濁工程と、除濁処理された水をpH調整して水中の炭酸イオンを炭酸ガスに変換するpH調整工程と、脱気膜により隔てられた水室及び気室を有する膜脱気装置の該水室に、pH調整後の水を供給すると共に、酸素含有ガスを該膜脱気装置の気室に供給して脱炭酸を行う膜脱気工程と、膜脱気後の水の溶存酸素を利用して該水中のTOCを分解するTOC分解工程と、TOC分解処理水を脱塩する脱塩工程とを有することを特徴とする超純水製造方法。

IPC (12件)：

C02F 1/72 , B01D 19/00 , B01D 61/00 , C02F 1/20 , C02F 1/44 , C02F 1/58 , C02F 9/00 501 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 9/00 503 , C02F 9/00 504 , C02F 1/42

FI (17件)：

C02F 1/72 Z , B01D 19/00 H , B01D 61/00 , C02F 1/20 A , C02F 1/44 J , C02F 1/58 H , C02F 9/00 501 G , C02F 9/00 502 G , C02F 9/00 502 J , C02F 9/00 502 N , C02F 9/00 502 R , C02F 9/00 502 Z , C02F 9/00 503 B , C02F 9/00 504 A , C02F 9/00 504 B , C02F 9/00 504 E , C02F 1/42 B

Fターム (78件)：

4D006GA03 , 4D006GA06 , 4D006GA07 , 4D006GA32 , 4D006KA12 , 4D006KB01 , 4D006KB04 , 4D006KB11 , 4D006KB13 , 4D006KB17 , 4D006KB22 , 4D006KB25 , 4D006KD08 , 4D006MA01 , 4D006MA04 , 4D006MC23 , 4D006MC53 , 4D006MC62 , 4D006PA01 , 4D006PB04 , 4D006PB05 , 4D006PB64 , 4D006PC02 , 4D011AA16 , 4D011AA17 , 4D011AD03 , 4D025AA04 , 4D025AA09 , 4D025AB16 , 4D025BA08 , 4D025BB02 , 4D025BB04 , 4D025BB07 , 4D025CA03 , 4D025DA01 , 4D025DA03 , 4D025DA04 , 4D025DA05 , 4D037AA03 , 4D037AA11 , 4D037AB11 , 4D037BA18 , 4D037BA23 , 4D037BB05 , 4D037BB07 , 4D037CA03 , 4D037CA04 , 4D037CA07 , 4D037CA08 , 4D037CA12 , 4D037CA14 , 4D037CA15 , 4D038AA01 , 4D038AB24 , 4D038BA04 , 4D038BB03 , 4D038BB07 , 4D038BB08 , 4D038BB13 , 4D038BB16 , 4D038BB17 , 4D038BB18 , 4D038BB19 , 4D050AA05 , 4D050AA13 , 4D050AB07 , 4D050BB01 , 4D050BC09 , 4D050BD06 , 4D050CA03 , 4D050CA06 , 4D050CA07 , 4D050CA08 , 4D050CA09 , 4D050CA10 , 4D050CA13 , 4D050CA16 , 4D050CA17

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