ステンシル露光マスク

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160253
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029965
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】透明パターン領域に傷が付いたり、ごみが付着する問題を解消し、割れ易さを解消して、取り扱い易くすることにある。【構成】所定マスクパターン形状に切抜パターン部12を設けた金属薄板11の一面に、切抜パターン部12に沿ってスペーサ用テープ13が貼着され、前記金属薄板11のスペーサ用テープ13を貼着した面と相対する面に、該金属薄板11を支持する支持体14が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

所定マスクパターン形状に切抜パターン部12を設けた金属薄板11の一面に切抜パターン部12に沿ってスペーサ用テープ13が貼着されていることを特徴とするステンシル露光マスク。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G03F 1/14

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