特許
J-GLOBAL ID：200903046611025187
干渉計、光走査型トンネル顕微鏡および光プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158535
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012826
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】これまでの光走査型トンネル顕微鏡は、試料表面の形状、光の強度分布しか測ることができなかった。また、光導波路の中に閉じこめられた光の等位相線を測る方法がなかった。本発明によれば、光走査型トンネル顕微鏡を位相情報まで測定できるようにすると共に、光導波路の中に閉じこめられた光の等位相線を測ることができる。【構成】光走査型トンネル顕微鏡において、試料に照射する光の他に参照光を用意し、光プローブで取り出した光と、この参照光を干渉させる。【効果】光の波長よりも非常に小さい領域の光の位相情報を知ることができるようになる。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から放射された光を複数に分割する分割手段と、複数の光を干渉させる干渉手段と、干渉させた光を検出する検出手段を有する干渉計において、前記分割手段によって分割された光の少なくとも一つを、光源から放射される光の波長と同等かもしくは波長よりも小さい領域から、選択的に取り出す光プローブを少なくとも1個有し、前記光プローブで取り出された光と前記分割手段で分割された光を、前記干渉手段で干渉させることを特徴とする干渉計。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 9/02
, G01N 21/45
