特許
J-GLOBAL ID：200903046613352096
化学物質検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-385982
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181790
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：
【要約】【課題】 化学物質を高精度に検出することができることを目的とする。【解決手段】 第1空間26と第2空間27とを仕切り壁25で仕切ることにより、第2空間27中のイオントラップ9の機能が損なわれない程度に、第1空間26中のガス圧を増加できる。第1空間26側のランプ5と第2空間27側のイオントラップ9とを仕切り壁25で仕切ることにより、第1空間26中において、サンプルガスに対する真空紫外光7の照射体積を増加できる。この結果、イオン28の生成量が増加して、飛行時間型質量分析手段19の計測感度が向上され、特定の化学物質を高精度に検出することができる。また、差動排気用ポンプ31により、第2空間27中のガス圧を上げることなく、第1空間26中のガス圧を増加させることができる。この結果、さらに、イオン28の生成量が増加して特定の化学物質を高精度に検出することができる。
請求項（抜粋）：
真空紫外光発生手段から発生された真空紫外光によりサンプルガスをイオン化するイオン化手段と、前記真空紫外光によりイオン化されたイオンのうち、特定質量のイオンを蓄積するイオントラップと、前記イオントラップ中に蓄積された前記イオンを加速させ、その加速されたイオンの飛行時間に基づいて前記サンプルガス中の前記特定質量の化学物質を同定する飛行時間型質量分析手段と、を備えた化学物質検出装置において、前記イオン化手段は、イオンが通過する孔を有する仕切り壁により、イオン生成用の第1空間とイオン蓄積用の第2空間とに仕切られており、前記第1空間には、前記真空紫外光発生手段が具備されており、前記第2空間中には、前記イオントラップが配置されており、前記第1空間中で生成されたイオンを前記第2空間中の前記イオントラップ中に引き込む引き込み電極が設けられている、ことを特徴とする化学物質検出装置。
IPC (6件)：
G01N 27/64
, G01N 27/62
, H01J 49/10
, H01J 49/24
, H01J 49/40
, H01J 49/42
G01N 27/64 B
, G01N 27/62 K
, H01J 49/10
, H01J 49/24
, H01J 49/40
, H01J 49/42
5C038GG07
, 5C038GH04
, 5C038JJ02
, 5C038JJ06
