特許
J-GLOBAL ID：200903046617576991
感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152412
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002902
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 プロセス安定性、保存安定性に優れており、高精度の微細パターンを安定して形成することができ、しかも紫外線、遠紫外線、X線等各種放射線に有効に感応する化学増幅型ポジ型レジストを提供する。【解決手段】 一般式(1)、(2)で示される繰返し単位を含有する(A)共重合体10〜90重量部と一般式(1)、(3)からなる(B)共重合体10〜90重量部および感放射線性酸発生剤からなる感放射線性組成物。R1は水素原子またはメチル基を示すR2は水素原子またはメチル基、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい。R6は水素原子またはメチル基を示しRaは水素原子または炭素数1〜10のアルキル基を示す
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位を含有してなる共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示し、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい、(B)下記式(3)で表される繰返し単位および上記式(1)で表される繰返し単位を含有してなる共重合体【化3】ここで、R6は水素原子またはメチル基を示し、そしてRaは水素原子または炭素数1〜10のアルキル基を示す、および(C)感放射線性酸発生剤、を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
