特許
J-GLOBAL ID：200903046618184167
圧電ジャイロセンサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-330078
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170272
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、圧電振動子の方向の識別が可能で、ケースへの実装が簡単な構造を有し、更に従来の製造方法で製造可能な安価で小型の圧電ジャイロセンサを提供する。【解決手段】一対の駆動片と一対の検出片を有し、駆動片と検出片を同一平面で結合する結合部とを有し、更に駆動片、検出片及び結合部を支持する支持部を有している圧電振動子で、少なくともX方向、あるいはY方向のそれぞれを識別する手段が、表面に形成されている圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサ。
請求項（抜粋）：
圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、前記圧電振動子の少なくともX方向、あるいはY方向のそれぞれを識別する手段が、前記圧電振動子の表面に形成されていることを特徴とする圧電ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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