特許
J-GLOBAL ID：200903046633651570
非球面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153807
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325848
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】2次元検出器への迷光を極めて少なくして、非球面形状の被検面の面形状を高精度に測定できる非球面測定装置を提供する。【解決手段】光源1から射出した光Lを分割する光分割手段5aを備え、分割された一方の光を参照光として用い、他方の光を回折光学素子7を含む波面形成手段6を介して非球面形状の被検面12に対応した波面に変換した後に被検面12に入射させ、被検面12で反射した測定光と参照光との干渉によって形成される干渉縞を観察することにより被検面12の面形状を測定する非球面形状測定装置において、回折光学素子7で形成される測定光、すなわち種々の次数の回折光のうちで測定に使用する次数の回折光が、一旦集光してから被検面12に入射するように、波面形成手段6を形成し、測定光の集光位置Oの近傍に絞り11を配置した。
請求項（抜粋）：
光源から射出した光を分割する光分割手段を備え、分割された一方の光を参照光として用い、他方の光を回折光学素子を含む波面形成手段を介して非球面形状の被検面に対応した波面に変換した後に該被検面に入射させ、該被検面で反射した測定光と前記参照光との干渉によって形成される干渉縞を観察することにより前記被検面の面形状を測定する非球面形状測定装置において、前記回折光学素子で形成される測定光、すなわち種々の次数の回折光のうちで測定に使用する次数の回折光が、一旦集光してから前記被検面に入射するように、前記波面形成手段を形成し、前記測定光の集光位置の近傍に絞りを配置したことを特徴とする非球面形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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