特許
J-GLOBAL ID：200903046650312568
光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315087
公開番号（公開出願番号）：特開平7-170009
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 波長250nm以下で発振するエキシマレーザ光源の代替光源として使用でき、且つ装置サイズ、安全性、メインテナンス性、及び信頼性の点でエキシマレーザ光源より優れた光源装置を提供する。【構成】 Nd:YAGレーザ光源21からの基本波L1を非線形結晶22Aに供給して2倍高調波L2,L3を得、2倍高調波L3を波長可変レーザ光源23に供給して可変波長レーザ光L6,L8を得る。2倍高調波L2から非線形結晶22Bにより得た3倍高調波L5、及び可変波長レーザ光L6から非線形結晶22Cにより和周波数レーザ光L7を得、和周波数レーザ光L7及び可変波長レーザ光L8から非線形結晶22Dより和周波数レーザ光L8を得る。
請求項（抜粋）：
250nm以下の波長の照明光を発生するための光源装置において、1000nm以上の波長の基本レーザ光を発生する固体レーザ光源と、前記基本レーザ光より前記基本レーザ光の2倍高調波を発生する第1非線形結晶と、前記2倍高調波を励起光として可変波長のレーザ光を発生する波長可変レーザ光源と、前記第1非線形結晶から射出される前記基本レーザ光の2倍高調波及び前記基本レーザ光より前記基本レーザ光の3倍高調波を発生する第2非線形結晶と、前記基本レーザ光の3倍高調波及び前記可変波長のレーザ光より、前記基本レーザ光の3倍高調波と前記可変波長のレーザ光との和周波数の波長250nm以下の和周波レーザ光を発生する第3非線形結晶と、を有し、前記和周波レーザ光を照明光として用いることを特徴とする光源装置。
IPC (3件)：
H01S 3/109
, G02F 1/37
, H01L 21/027
