特許

J-GLOBAL ID：200903046660968194

光ファイバ干渉センサ、光ファイバ干渉センサの信号処理システム、信号処理方法および記録媒体

発明者： 岡本 興司 ,  廣瀬 浩二
出願人/特許権者： 株式会社共和電業
代理人 (1件)： 真田 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062757
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255124
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で、低周波のゆらぎおよびノイズ等の不要な信号成分による影響を効果的に除去または抑制し、光学系の簡易な調整でも高精度な測定結果が得られるようにする。【解決手段】 信号処理部14は、リニアイメージセンサ11からイメージセンサ制御部12およびA/D変換器13を介して得られる信号から光相関信号を抽出し、その光相関信号の高周波および低周波の不要成分を除去するとともに、その出力をヒルベルト変換して位相を90°シフトする。先に不要成分を除去した信号と、90°位相シフトした信号とに基づいて、不要成分が除去された信号と、その位相を90°シフトした出力との二乗和の平方根を求め、その高周波不要成分を除去して得られる包絡線成分を平滑化微分して、零クロス点を求める。

請求項（抜粋）：

力、ひずみ、圧力および温度等の物理量により変動する被計測間隙を存し、平行平面をなして光ファイバの端面を対峙させ且つ該光ファイバの対峙する端面に部分反射ミラーを形成してなるセンサ部の一方の光ファイバに、低コヒーレンス光源の光を導き、前記被計測間隙における多重反射により、前記被計測間隙の間隙寸法に対応して波長変調された反射光および透過光のいずれかを光ファイバにて導き、均一な光強度分布で直線状に集光して、フィゾー干渉計を介してリニアイメージセンサ上に照射し、該リニアイメージセンサの出力から該リニアイメージセンサにおける光強度最大位置を検出して、前記被計測間隙を求め、前記物理量の大きさを計測するファブリペロー型の光ファイバ干渉センサにおいて、前記リニアイメージセンサの時系列の出力信号から所要の光相関信号を抽出する光相関信号抽出手段と、前記光相関信号抽出手段の出力の高周波の不要成分および低周波の不要成分を除去する不要成分除去処理手段と、前記不要成分除去処理手段の出力の位相を90°シフトする位相シフト処理手段と、前記不要成分除去処理手段の出力と、その位相を90°シフトした位相シフト処理手段の出力に基づいて、前記不要成分除去処理手段の出力の包絡線成分を得る包絡線算出手段と、前記包絡線算出手段の出力を微分して、該微分値がレベル零と交わる零クロス点を求めるピーク位置算出手段とを具備することを特徴とする光ファイバ干渉センサ。

IPC (5件)：

G01B 11/16 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/14 ,  G01K 11/12 ,  G01L 1/24

FI (5件)：

G01B 11/16 G ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/14 G ,  G01K 11/12 F ,  G01L 1/24 A

Fターム (38件)：

2F056VF11 ,  2F056VF15 ,  2F056VF16 ,  2F064AA04 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064EE05 ,  2F064EE06 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG24 ,  2F064GG53 ,  2F064HH01 ,  2F064HH02 ,  2F064HH05 ,  2F064HH07 ,  2F064JJ03 ,  2F065AA22 ,  2F065AA65 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065SS13