特許
J-GLOBAL ID:200903046664772979
気体軸受装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-560005
公開番号(公開出願番号):特表2006-510857
出願日: 2003年11月21日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
気体軸受装置は、2つの対向する実質的に平行な軸受面(2、4)および両軸受面(2、4)の間の軸受ギャップ(5)に気体を供給する少なくとも1つの気体ダクト(6)を有する。空洞(10、14、15、18、19)が設けられ、その容積は0.001cm3乃至0.2cm3であり、オリフィス(7、11、16、17、20、21)を通じて前記軸受ギャップに接続される。2つの軸受面(2、4)は、凹部(13)を有することができ、その凹部中では、2つの軸受面間の距離は、凹部の周辺の軸受ギャップ(5)部分においての両軸受面間の距離よりも大きい。
請求項(抜粋):
2つの対向する実質的に平行な軸受面と、
前記2つの軸受面間の軸受ギャップに気体を供給する少なくとも1つの気体ダクトと
を有する気体軸受装置であって、
オリフィスを通じて前記軸受ギャップに接続され、容積が0.001cm3乃至0.2cm3である空洞を有すること
を特徴とする気体軸受装置。
IPC (1件):
FI (2件):
F16C32/06 A
, F16C32/06 Z
Fターム (10件):
3J102AA02
, 3J102BA02
, 3J102BA05
, 3J102CA02
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA09
, 3J102EA12
, 3J102EA16
, 3J102GA01
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