特許

J-GLOBAL ID：200903046670560215

走査電子顕微鏡の試料位置制御装置

発明者： 小室 浩之 ,  富澤 淳一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133097
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320503
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡の観察画面に、コンピュータ等により光学的画像と電顕画像を切換えて表示することを目的とする。【解決手段】走査電子顕微鏡の操作により光学的画像取込み装置9,電顕画像取込み装置6および試料ステージ12を制御して、目的の視野を簡易に探せるよう構成した走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡において、光学的画像取込み装置を走査電子顕微鏡の試料ステージに組み込むことにより試料の画像を低倍率で記憶し、前記走査電子顕微鏡像の低倍率限界から光学的画像に倍率連動してコンピュータを用い自動的に画像の切換え表示をすることを特徴とする走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 L