特許
J-GLOBAL ID：200903046673443490
エンコーダタイプの測定システム、リソグラフィ装置、およびエンコーダタイプの測定システムのグリッドもしくは回折格子上またはグリッドもしくは回折格子内のエラーを検出するための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-063815
公開番号（公開出願番号）：特開2009-231835
出願日： 2009年03月17日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】 グリッドまたは回折格子内のエラーによる可動オブジェクトの誤った位置決めに対するリスクが低減される位置測定を提供することである。【解決手段】 可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されるエンコーダタイプの測定システム。この測定システムは、光源およびセンサを含む。光源およびセンサは、可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる。また、この測定システムは、可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを含む基準オブジェクトを含む。光源は、光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成される。センサは、基準オブジェクトによって反射された光源の光を検出するように構成される。また、この測定システムは、連続的な生産工程中に、センサターゲットオブジェクトの回折格子もしくはグリッド内または回折格子もしくはグリッド上のエラーを検出することが可能なエラー検出器を含む。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムであって、
前記可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる、光源およびセンサと、
前記可動オブジェクトまたは前記実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを備える基準オブジェクトであって、前記光源が光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成され、前記センサが基準オブジェクトによって反射された前記光源の光を検出するように構成される、基準オブジェクトと、
連続的な生産工程中に、前記センサのターゲットオブジェクトの前記回折格子もしくはグリッド内の、または前記回折格子もしくはグリッド上のエラーを検出することが可能なエラー検出器と
を備え、前記エラー検出器が、
1つまたは複数の変数を監視するように構成されたモニタと、
前記1つまたは複数の監視された変数の、前記変数の1つまたは複数の基準値との比較に基づいて、1つまたは複数の比較信号を提供するように構成されたコンパレータであって、前記1つまたは複数の比較信号が、前記回折格子もしくはグリッド上の、または前記回折格子もしくはグリッド内のエラーの存在を表す、コンパレータと
を備える、測定システム。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 516B
, H01L21/30 503B
5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC20
, 5F046DB04
, 5F046DC05
, 5F046DC12
, 5F046DC14
