X線発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109872
公開番号（公開出願番号）：特開平5-303999
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】所望の強度(波長)を有するX線を長時間安定して供給する。【構成】レーザ光3を導入するための窓4を有する真空容器1、容器1内に設置された標的2、前記窓と標的との間のレーザ光の光路上に設置されたレーザ光を透過可能な透明部材5、およびこの透明部材に対するレーザ光の透過位置が変わるように前記透明部材を移動させる移動手段6、7、8とでX線発生装置を構成した。

請求項（抜粋）：

レーザ光を導入するための窓を有する真空容器、該容器内に設置された標的、前記窓と標的との間の前記レーザ光の光路上に設置された該レーザ光を透過可能な透明部材、および該透明部材に対する前記レーザ光の透過位置が変わるように該透明部材を移動させる移動手段、とを有することを特徴とするX線発生装置。

IPC (2件)：

H05G 2/00 , G21K 1/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-137543
特開昭58-116731
特開昭61-158656

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審査官引用 (8件)

特開平1-137543
特開平1-137543
特開昭58-116731

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