特許
J-GLOBAL ID：200903046674347010
電界放出表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329008
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055574
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 製作工程が単純化でき、製作単価が節減でき、カソードの寿命が延長できる電界放出表示装置及びその製造方法をを提供することである。【構成】 この方法は、基板(1)上にカソード電極(2)を形成し、その上に絶縁体層(3)を形成する工程と、フォトレジスト(11)を使用して前記絶縁体層(3)を食刻させる工程と、フォトレジスト(11)を除去し、絶縁体層(3)上に分離層(12)を形成する工程と、ダイヤモンドを使用してダイヤモンドカソード(10)とダイヤモンド層(13)を形成する工程と、リフトオフ工程により分離層(12)を除去する工程を経る。又、この装置は、カソード電極(2)上に円形パターンのアパーチュアを有する絶縁体層(3)を形成し、その絶縁体層(3)のアパーチュア内にダイヤモンドカソード(10)を形成したものである。
請求項（抜粋）：
電界放出表示装置の製造方法において、a)基板(1)上にカソード電極(2)を形成し、その上に絶縁体層(3)を形成する工程と、b)フォトレジスト(11)を使用して前記絶縁体層(3)を食刻させる工程と、c)フォトレジスト(11)を除去し、絶縁体層(3)上に分離層(12)を形成する工程と、d)ダイヤモンドを使用してダイヤモンドカソード(10)とダイヤモンド層(13)を形成する工程と、e)リフトオフ工程により分離層(12)を除去する工程を経ることを特徴とする電界放出表示装置の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, G09F 9/30
, H01J 1/30
, H01L 21/205
