特許
J-GLOBAL ID:200903046676038626
ガス回収装置及びガス回収方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-150916
公開番号(公開出願番号):特開平11-345545
出願日: 1998年06月01日
公開日(公表日): 1999年12月14日
要約:
【要約】【課題】小型の容器に分離回収できるSF6 ガスとの混合ガスを用いたガス絶縁開閉装置のガス回収装置を提供する。【解決手段】混合ガスが封入されたガス絶縁開閉装置1と、ガス絶縁開閉装置1に真空ポンプ9を介して接続された分離装置3と、分離装置内に設けられた気体分離膜2で仕切られ真空ポンプ9に連通する一方の室に接続されたSF6 ガス回収容器6とを備えた。
請求項(抜粋):
混合ガスが封入されたガス絶縁開閉装置と、該ガス絶縁開閉装置に真空ポンプを介して接続された分離装置と、該分離装置内に設けられた気体分離膜で仕切られ前記真空ポンプに連通する一方の室に接続されたSF6 ガス回収容器とを備えたことを特徴とするガス回収装置。
IPC (3件):
H01H 33/56
, B01D 53/22
, H02B 13/055
FI (3件):
H01H 33/56 C
, B01D 53/22
, H02B 13/06 M
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭63-026497
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特開昭61-112506
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特開昭60-018775
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