特許

J-GLOBAL ID：200903046677741312

処理液供給装置

発明者： 大谷 正美 ,  西村 讓一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015751
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211625
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 圧損少なく処理液を吐出できながら、処理液中に滞留する気泡を処理液とともに吐出させることができる処理液吐出装置を提供する。【構成】 基板Wに対して略鉛直方向に向いた処理液供給チューブ2の管部分(鉛直管部)からこれに略水平に向いて連通している水平管部の鉛直管部側にわたって、フッ化樹脂製の棒状の流速助長部材100が挿通されている。この流速助長部材100は、処理液とともにノズル1から下方に排出されることがないように、その先端部を偏平にかしめて形成されている。この流速助長部材100により、処理液供給チューブ2の鉛直管部は他部よりも流路断面積が小さくなり、この部分の処理液の流速が高められる。したがって、処理液中に滞留している気泡は、流速が高められた処理液とともにノズル1から吐出される。

請求項（抜粋）：

先端側にほぼ鉛直方向を向いた管部分を有する処理液供給チューブの先端側下端にノズルを備え、前記ノズルの下方に位置する基板に処理液を供給する処理液供給装置において、前記ほぼ鉛直方向を向いた管部分の内部に、他部よりも流路断面積を小さくする流速助長部材を設けたことを特徴とする処理液供給装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-006519
  
• 特公昭58-032135