特許

J-GLOBAL ID：200903046677769624

光学的薄膜計測方法及び装置並びにこの装置に用いられる光学的薄膜計測妨害光除去装置

発明者： 岡村 茂 ,  有本 宏
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029434
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230860
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】煩雑な操作をすることなく、透明基材裏面からの反射光が測定光に重畳されるのを防止して、透明基材表面に形成された薄膜の物理量を高精度で計測する。【解決手段】透明基板11の表面に薄膜12が形成された試料10に対し該表面へ光ビームを照射し、照射点からの反射光を検出して薄膜12の物理量を計測する光学的薄膜計測方法において、屈折率が基板11のそれに略等しい液体26を容器に収容し、基板11の裏面を液体26に接触させ、試料10を透過して液体26内に入射した光を吸光体24に吸収させる。他の構成では、照射点からの反射光を遮光せずに、基板の裏面において反射し薄膜を透過した光ビームを遮光するように、試料に接近してナイフエッジ板を配置し且つ照射点に対し反射光側にナイフエッジ板のナイフエッジを位置させる。

請求項（抜粋）：

透明基材の一方の面に薄膜が形成された試料に対し該一方の面へ光ビームを照射し、照射点からの反射光を検出して該薄膜の物理量を計測する光学的薄膜計測装置に用いられ、屈折率が該基材のそれと略等しい液体又はゲル状物質である反射防止物質と、該透明基材の該一方の面と対向する面と接触可能に該反射防止物質が収容される容器と、該容器内に配置され、該試料を透過して該反射防止物質内に入射した光を吸収する吸光体と、を有することを特徴とする光学的薄膜計測妨害光除去装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/27

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/27 B