特許
J-GLOBAL ID:200903046682157467
半導体記憶装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-171814
公開番号(公開出願番号):特開平7-029996
出願日: 1993年07月12日
公開日(公表日): 1995年01月31日
要約:
【要約】【目的】SRAMにおいて、低電圧での動作を保証し、市場ニーズの電源電位3.0V±10%を十分に対応できる半導体記憶装置を供給する。【構成】ビット線負荷回路11、カラムゲート13、書き込みゲート14、メモリセルのデータ転送ゲート12、データバス負荷回路17のしきい値電圧をその他のNMOSのしきい値電圧よりも低くする。なお低Vth化するには、通常のNMOSチャンネルを形成するNチャンネルドープ工程の後、低Vth化するNMOSのチャンネル部分のマスクを作成し、再度チャンネルドープ工程を行なうことにより形成する。
請求項(抜粋):
1対のビット線と、該ビット線に接続されるNチャンネルMOS型FET(以下NMOSと略す)で構成された1対のビット線負荷回路と、該ビット線と1対のデータバスの間に接続されるNMOSで構成された1対のカラムゲートと、該ビット線とデータ記憶回路の間に接続されるNMOSで構成された1対のデータ転送ゲートと、該データバスと1対のデータ書き込みバスの間に接続されるNMOSで構成される1対の書き込みゲートと、該データバスに接続されるNMOSで構成された1対のデータバス負荷回路で構成される半導体記憶装置において、該ビット線負荷回路と該カラムゲートと該データ転送ゲートと該書き込みゲートと該データバス負荷回路のNMOSのしきい値電圧をその他のNMOSのしきい値電圧よりも低くしたことを特徴とする半導体記憶装置。
IPC (3件):
H01L 21/8244
, H01L 27/11
, H01L 27/10 481
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