特許
J-GLOBAL ID：200903046694754150
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-312539
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142378
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 回転カップの蓋体の開放を容易にすると共に、被処理体へのミストやダストの付着を防止して、スループットの向上及び製品歩留まりの向上を図る。【構成】 被処理体であるLCD基板Gを回転保持するスピンチャック10と共に回転する回転カップ12と、この回転カップ12の開口部を閉塞する蓋体16とで処理室20を形成し、回転カップ12の周囲を取囲むようにドレンカップ14を配置する。回転カップ12の処理室20の上部周辺部に給気孔34を設けると共に、下部周辺部には排気孔35を設ける。これにより、回転処理時には給気孔34から処理室20内に入った空気を排気孔35から外部に排出することができるので、処理室20内が負圧になるのを防止し、処理後の蓋体16の開放を容易にすることができると共に、蓋体16の開放時に外部から処理室20内に進入してLCD基板Gにダストが付着するのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体を収容する処理室を有する回転カップと、この回転カップの周囲を取囲むように配置されるドレンカップとを有する塗布装置において、上記回転カップの処理室の上部周辺部に給気孔を設けると共に、下部周辺部には排気孔を設けたことを特徴とする塗布装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
