特許
J-GLOBAL ID：200903046697388350
線状物体検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237471
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063529
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 ボンディングワイヤの良否結果を表示手段に適切に表示し、自動検査を良好に行なった線状物体検査装置を得ること。【構成】 搬送部より搬送し固定した線状物体を照明手段からの光束で照明し、該線状物体を撮像手段で撮像し、該撮像手段で得られた該線状物体の画像情報を画像処理ユニットで処理し、該画像処理ユニットで得られた該線状物体の外観形状の検査部位が予め設定した外観形状内になっているか否かを判定手段で判定し、該判定手段からの判定結果を該線状物体の外観形状の対応する検査部位を共に表示手段に表示したこと。
請求項（抜粋）：
搬送部より搬送し固定した線状物体を照明手段からの光束で照明し、該線状物体を撮像手段で撮像し、該撮像手段で得られた該線状物体の画像情報を画像処理ユニットで処理し、該画像処理ユニットで得られた該線状物体の外観形状の検査部位が予め設定した外観形状内になっているか否かを判定手段で判定し、該判定手段からの判定結果を該線状物体の外観形状の対応する検査部位を共に表示手段に表示したことを特徴とする線状物体検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/66
