特許

J-GLOBAL ID：200903046702424114

ダブルアーム型基板搬送ロボット

発明者： 木全 一夫 ,  笠原 公博
出願人/特許権者： アシストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-341163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157974
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】ロボットをコンパクトに構成して設置する床面積のスペースを小さくすること。【解決手段】ロボットRは、第1のアーム体3Aと第2のアーム体3Bとを回動ベース2上に対称位置となるように並設する。第1のアーム体3Aの第1駆動軸31Aは、第1の駆動モータ13Aに第1軸11Aを介して連結され、第2のアーム体3Bの第2駆動軸31Bは、第2の駆動モータ13Bに第2軸11Bを介して連結されている。第2軸11Bは、第1軸11Aを同一軸線上で囲繞するように配置され、回動ベース2を連結する第3軸21は、第2軸11Bを同一軸線上で囲繞するように配置されて第3の駆動モータ23に連結されている。

請求項（抜粋）：

コ字形に形成された一方の基板保持部と前記基板保持部の中空部に基板を挿通可能に保持する他方の基板保持部とを、いずれかに備える第1のアーム体及び第2のアーム体を、それぞれ対向するように配設する回動ベースと、第1のアーム体を屈伸駆動するための第1の駆動手段と、第2のアーム体を屈伸駆動するための第2の駆動手段と、を有して構成され、前記第1の駆動手段が、前記第1のアーム体の駆動軸に連結する第1軸と前記第1軸を連結駆動する第1の駆動源とを有し、前記第2の駆動手段が、前記第2のアーム体の駆動軸に連結され、前記第1軸を同一軸線上に囲繞する第2軸と前記第2軸を連結駆動する第2の駆動源とを有し、前記回動ベース内には、前記第1軸から前記第1のアーム体の駆動軸に連結する第1軸連結手段が配設され、かつ前記第2軸から前記第2のアーム体の駆動軸に連結する第2軸連結手段が前記第1軸連結手段の下方に配設されていることを特徴とするダブルアーム型基板搬送ロボット。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B25J 17/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 9/06 E ,  B25J 17/00 B ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA09 ,  3F060BA06 ,  3F060DA09 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA02 ,  3F060GA05 ,  3F060GA13 ,  3F060GB02 ,  3F060GB06 ,  3F060GB16 ,  3F060GB19 ,  3F060GB31 ,  3F060HA00 ,  3F060HA30 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50