特許
J-GLOBAL ID：200903046716249269
観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058575
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239037
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 観察する試料が傾いている場合にも、常に正確な寸法測定等の観察を行うことが出来る。【解決手段】 本発明の観察装置は、試料面を照明する照明光学系13と、前記試料面からの光束を集光して、試料面の像を形成する対物光学系14と、前記試料面の像を光電検出する撮像手段16と、前記対物光学系の少なくとも一部を介して前記試料面からの光束を光電検出して、前記対物光学系の試料面側の焦点面と前記試料面との整合状態を検出する焦点検出系19とを備えた観察装置において、前記試料面の傾きを検出する傾斜検出手段33,34,35と、前記傾斜検出手段にて検出された前記試料面の傾きに応じて、前記対物光学系の光軸を調整する調整手段38とを有する。
請求項（抜粋）：
試料面を照明する照明光学系と、前記試料面からの光束を集光して、試料面の像を形成する対物光学系と、前記試料面の像を光電検出する撮像手段と、前記対物光学系の少なくとも一部を介して前記試料面からの光束を光電検出して、前記対物光学系の試料面側の焦点面と前記試料面との整合状態を検出する焦点検出系とを備えた観察装置において、前記試料面の傾きを検出する傾斜検出手段と、前記傾斜検出手段にて検出された前記試料面の傾きに応じて、前記対物光学系の光軸を調整する調整手段とを有することを特徴とする観察装置。
IPC (3件)：
G01B 11/26
, G01B 11/24
, G02B 21/00
G01B 11/26 Z
, G01B 11/24 F
, G02B 21/00
