特許
J-GLOBAL ID：200903046717412350
レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021503
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228638
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 超音波発生用及び超音波検出用のレーザービームを検査対象の表面上で走査させるタイプのレーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法において、欠陥検出の感度を向上させる。【解決手段】 ガルバノミラー14を、鋼材30の幅方向のある位置で、鋼材から高さ1mのところに設置し、鋼材の幅方向においてレーザービーム21の照射位置を変えたときにガルバノミラーに達する散乱光の光量がどのように変化するかを示す関数をFとする。この場合、鋼材の幅方向におけるガルバノミラーの設置位置をx、レーザービーム21を照射する位置をyとすると、関数Fは二変数関数F(x,y)である。{Fmax(x,y)-Fmix(x,y)}の値が最小となるxの値x0をもとに、スキャン時の検出光量のばらつきが一番少なくなるガルバノミラーの設置位置を決める。
請求項（抜粋）：
検査対象に超音波を発生させるための第一のレーザービームを発生する第一のレーザー光源と、検査対象内部を伝播した前記超音波のエコーを検出するための第二のレーザービームを発生する第二のレーザー光源と、前記第二のレーザービームが検査対象で反射されるときに前記超音波のエコーに起因して生じる光周波数の変位を検出する光周波数変位検出手段と、ミラーの反復回転により、当該ミラーで反射した前記第一及び第二のレーザービームを検査対象の所定の走査範囲において走査させるとともに、検査対象で反射された前記第二のレーザービームの反射光を前記ミラーで反射して前記光周波数変位検出手段へ導くビーム走査手段と、を具備し、前記ビーム走査手段の位置を前記走査範囲内で変えたときに、前記第二のレーザービームの検査対象からの反射光のうち前記ミラーにより有効に前記光周波数変位検出手段へ導かれる光の強度がどのように変化するかを予め解析的に求め、その解析結果に基づいて、前記ビーム走査手段の設置位置を決定したことを特徴とするレーザー超音波検査装置。
Fターム (5件)：
2G047AA07
, 2G047CA04
, 2G047EA05
, 2G047GA19
, 2G047GD01
