特許

J-GLOBAL ID：200903046718757458

真空ポンプ

発明者： 山下 義弘 ,  前島 靖 ,  坂口 祐幸 ,  杉山 雅美
出願人/特許権者： ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-090736
公開番号（公開出願番号）：特開2002-285990
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ロータの破壊事故の際、同時破壊部分を少なくして、その瞬時破壊トルクを弱め、ポンプケース、周辺の機器等の破損が起こらない、安全な真空ポンプを提供する。【解決手段】 ロータ2を、タービン側の上部ロータ21とスカート側の下部ロータ22とに2分割し、上下いずれかのロータに発生した破壊が他方のロータの破壊に波及するまでに時間差が生じて、破壊トルクのピーク値を下がるようにする。

請求項（抜粋）：

ターボ分子ポンプ機構部とネジ溝ポンプ機構部とを有し、上記ターボ分子ポンプ機構部のブレード状のロータ翼とネジ溝ポンプ機構部の回転円筒面とを備えたロータが、ロータ軸に保持されて高速回転することにより、ターボ分子ポンプ機構部がガス吸気口の高真空中のガス分子をネジ溝ポンプ機構部へ送り込み、このネジ溝ポンプ機構部が上記ガス分子をネジ溝に沿ってガス排出口に送り出すようにした真空ポンプにおいて、上記ロータが、上記ロータ翼が形成された軽合金製の上部ロータと、上記回転円筒面を有するスカート部を備えた軽合金製の下部ロータとからなり、上記上部ロータと下部ロータが、上記ロータ軸の鍔部にロータ軸軸線方向にネジ止めされたことを特徴とする真空ポンプ。

FI (2件)：

F04D 19/04 D ,  F04D 19/04 H

Fターム (6件)：

3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA39