特許

J-GLOBAL ID：200903046722274739

回折式格子旋回レーザーオプチカルエンコーダ

発明者： 謝 啓堂 ,  黄 智光
出願人/特許権者： 華錦光電科技股▲分▼有限公司
代理人 (1件)： 服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183178
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 回折式格子旋回レーザーオプチカルエンコーダを提供する。【解決手段】 オプチカルエレメントの特殊配置方式に基づき、2本の光が入射して格子上の同一点上に達し、系統測量性能が、可動格子とレーザーオプチカルエンコーダのオプチカルヘッド上の静止装置との間の定位の不正確さに対する敏感度を大幅に低下させる。この敏感度を低下させるという効果は、集焦レンズ708と直角プリズム709を組み合わせたフーリエ転換の光学次系統を生じさせることで達成することができる。この次系統作用によって、レーザーオプチカルエンコーダと回折格子の取り付けは、許容誤差が上がることで明らかに容易になる。さらに、この光学系統は高速運転させることにより、格子振動によって予想外の対位誤差が生じたときでも、高品質の光学信号を送り出すことができる。

請求項（抜粋）：

旋回物と入射光点に貼りついて相対運動をすることで、変位を測量する回折格子と、第一及び第二の光線束を起こし、直接、前述の回折格子上に当たることで生じる回折光である光線束系統と、前述の回折格子に生じるところの正負第一段階回折光の共同光路上にあるフーリエ転換の光学次系統と、前述の回折格子の二次回折光によって生じる干渉信号によって探測するところの信号受信光学子とを備え、異なった方向から入射した2本の光線束が、回折格子上の同一の光点、あるいは、光源を利用してやや偏った格子上にある2つの光点に達し、この2つの入射方向と格子の面の法線方向にはさまれた角は、ほぼ格子の正負第一段階回折角に等しく、入射光は投射して回折格子に生じた回折光線束は干渉コードを形成し、システム光電信号の転換を利用して回折格子の変位量を知ることが可能なことを特徴とする回折式格子旋回レーザーオプチカルエンコーダ。

IPC (4件)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00 ,  G01C 15/00 ,  G01D 5/30

FI (5件)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/00 G ,  G01C 15/00 Z ,  G01D 5/30 F

Fターム (40件)：

2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065BB25 ,  2F065BB29 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU07 ,  2F103BA37 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103DA01 ,  2F103DA13 ,  2F103EA01 ,  2F103EA12 ,  2F103EB02 ,  2F103EB11 ,  2F103EB32 ,  2F103EC01 ,  2F103EC12 ,  2F103EC13 ,  2F103EC14