特許
J-GLOBAL ID：200903046722907618
基板の欠陥修正装置及びその方法並びに液晶基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-375789
公開番号（公開出願番号）：特開2005-138133
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】基板上における修正すべきパターン等に角度が生じていても、迅速かつ正確に修正することができ、しかも凹凸のない仕上げを行う。【解決手段】レーザユニットから基板の欠陥箇所に向けてレーザビームを照射して欠陥を除去するが、このためにレーザユニットに組み込まれるスリット機構は4枚の遮光板20R,20L,20F,20Bで構成され、遮光板20R,20L,20F,20Bには、モータ等からなる往復動駆動手段22R,22L,22F,22Bと、回動駆動手段23R,23L,23F,23Bに接続され、それぞれ独立に往復動及び回動させることができるようになっている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、このレーザ発振器から照射されるレーザビームの基板への照射領域を制御するスリット機構とからなり、基板表面に形成された所定のパターンに対して可変な照射領域となるようにしてレーザビームを照射することによって、この基板に形成されたパターンを修正する装置において、
前記スリット機構として、レーザビームを通過させる開口を形成するために、前記レーザビームの光軸と直交する方向に設けた4枚の遮光板から構成し、
前記各遮光板は各々独立の往復動駆動手段により所定間隔だけ往復移動可能とし、また少なくとも相対向する2辺を構成する2枚の遮光板はさらに各々独立の回動駆動手段により水平面で所定角度回動可能として、前記開口の形状を変化させるように
構成したことを特徴とする基板の欠陥修正装置。
IPC (3件)：
B23K26/06
, G02F1/13
, G02F1/1343
B23K26/06 J
, G02F1/13 101
, G02F1/1343
2H088FA13
, 2H088FA14
, 2H088FA15
, 2H088FA16
, 2H088FA30
, 2H088HA02
, 2H088HA14
, 2H092MA35
, 2H092MA48
, 2H092NA29
, 2H092PA09
, 4E068AC01
, 4E068CB05
, 4E068CB08
, 4E068CC02
, 4E068CD10
, 4E068CE02
, 4E068DA11
