特許

J-GLOBAL ID：200903046725451062

熱処理装置

発明者： 島津 知久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207217
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045624
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 高温にさらされる雰囲気でも気密シールが可能な熱処理装置を提供する。【構成】 被処理体を熱処理する熱処理装置において、反応させる反応ガスを満す円筒状の反応管と、この反応管の開口部に接続される、反応ガスを供給するガス供給管とガス排出管が接続され、円筒状の両端にフランジ部が設けられたマニホールドと、このマニホールドに前記反応管の開口部が接続していない他端開口部を封止する蓋体と、このふた体に設けられ、前記マニホールドのフランジ部と面接する蓋体フランジ部と、このふた体フランジ部と前記マニホールドのフランジ部との面接部に設けられたメタルシールと、前記ふた体フランジ部と面接するマニホールドのフランジ部に設けられた排気溝と、この排気溝に連通する排気手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

被処理体を熱処理する熱処理装置において、反応させる反応ガスを満す円筒状の反応管と、この反応管の開口部に接続され、反応ガスを供給するガス供給管とガス排出管が接続され、円筒状の両端にフランジ部が設けられたマニホールドと、このマニホールドに前記反応管の開口部が接続していない他端開口部を封止する蓋体と、このふた体に設けられ、前記マニホールドのフランジ部と面接する蓋体フランジ部と、このふた体フランジ部と前記マニホールドのフランジ部との面接部に設けられたメタルシールと、前記ふた体フランジ部と面接するマニホールドのフランジ部に設けられた排気溝と、この排気溝に連通する排気手段とを設けたことを特徴とする熱処理処置。

IPC (3件)：

H01L 21/324 ,  F27D 7/06 ,  H01L 21/22 511