特許

J-GLOBAL ID：200903046727554365

マイクロポンプ

発明者： ホーヴィッツ・シュテフェン ,  ヴェーゲナー・トーマス ,  ブリュガー・マーリオ ,  ゲーリング・トーマス
出願人/特許権者： ゲーシム・ゲゼルシャフト・フューア・ズィリーツィウム-ミクロズュステーメ・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-526087
公開番号（公開出願番号）：特表2001-505640
出願日： 1997年12月11日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】本発明は、微小滴を発生させるためのマイクロポンプに関する。このマイクロポンプは、シリコンチップ内に形成された少なくとも1つのポンプ室と、このポンプ室上に配置された圧電操作可能なシリコンダイヤフラムとを備えている。ポンプ室は少なくとも1つの流入通路と、排出口を有する流出通路に接続されている。ガラスチップはシリコンダイヤフラムに向き合って少なくともポンプ室を閉鎖している。本発明の根底をなす課題は、1兆分の数リットルから百万分の数リットルまでの容積範囲において液体または懸濁液または液状物質を取り扱うことができ、かつ高い周波数安定性を有する、マイクロポンプを提供することである。本発明は、シリコンチップ(2)内にある流入通路(7)の少なくとも一部がポンプ室(4)の方に向かってディフューザ要素(11)として形成され、付加的にヒータが設けることができ、このヒータがヒータ接点(18,19)と関連して少なくともポンプ室(4)のシリコンダイヤフラム(5)に作用していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

シリコンチップ内に形成された少なくとも1つのポンプ室と、このポンプ室 上に配置された圧電操作可能なシリコンダイヤフラムとを備え、ポンプ室が少 なくとも1つの流入通路と、排出口を有する流出通路に接続され、ガラスチッ プがシリコンダイヤフラムに向き合ってポンプ室を閉鎖している、微小滴を発 生させるためのマイクロポンプにおいて、シリコンチップ(2)内にある流入 通路(7)の少なくとも一部がポンプ室(4)の方に向かってディフューザ要 素(11)として形成され、流出通路(8)が出口平面(22)に開口してい ることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (2件)：

F04B 43/04 ,  B81B 3/00

FI (2件)：

F04B 43/04 B ,  B81B 3/00