特許

J-GLOBAL ID：200903046731454081

ノッチ付ウエハの周辺部露光装置

発明者： 山本 聡 ,  亀井 謙治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048091
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217887
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 V字形のノッチが形成された半導体ウエハの周辺露光にあたり、ノッチ部分で露光領域がウエハ内部に食い込まないようにする。【構成】 ウエハをステッピングモータ2でステップ送りしながら、CCDラインセンサ3でウエハの周辺位置データを採取するとともに、CPU10が比較器91 〜95 の出力信号に基づきノッチ領域を検出する。周辺露光時には、サンプリング点がノッチ領域に入っていなければ、そのサンプリング点の周辺位置データに基づいてステッピングモータ17を駆動することにより光源位置を制御し、ウエハ周辺を所定の露光幅で露光する。サンプリング点がノッチ領域に入っていれば、その周辺位置データを無視し、近傍サンプリング点の周辺位置データに基づいて光源位置を制御することにより、露光領域がウエハ内部に食い込まないようにする。

請求項（抜粋）：

外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗布されたウエハを回転させつつ、露光ビームで前記ウエハの周辺を露光するノッチ付ウエハの周辺部露光装置であって、ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、前記ウエハ回転駆動手段を回転駆動制御する回転駆動制御手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサと、前記一次元イメージセンサからの周辺位置データを各サンプリング点の変位角度に対応付けて記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された周辺位置データに基づき、ノッチ領域を検出するノッチ領域検出手段と、露光ビームを照射する光源と、前記光源とウエハとの位置関係を相対的に変位させる光源変位手段と、前記記憶手段から周辺位置データを順に読み出し、当該サンプリング点が前記ノッチ領域検出手段によって検出されたノッチ領域内に入っていない場合は、その周辺位置データに基づいて前記光源変位手段を制御することにより、前記光源でウエハの周辺部を所定幅で露光し、当該サンプリング点がノッチ領域内に入っている場合は、当該サンプリング点の周辺位置データを無視し、当該サンプリング点の近傍にあるサンプリング点の周辺位置データに基づいて前記光源変位手段を制御することにより、前記光源でノッチ領域を露光する光源変位制御手段と、を備えたことを特徴とするノッチ付ウエハの周辺部露光装置。