特許
J-GLOBAL ID：200903046740441480
ウェーハの研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204098
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058066
出願日： 1993年08月18日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 テンプレート方式研磨において、ウェーハの外周部にかかる集中応力に起因するとみられる外周ダレのようなウェーハの変形を防止し、ウェーハを極めて平坦に研磨できるようにする。【構成】 テンプレートブランクの嵌合穴にウェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハの背面側を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、該テンプレートブランクに隣接するバッキングパッド面に該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリング状の溝を穿設したバッキングパッドを用いて研磨する。
請求項（抜粋）：
テンプレートブランクの嵌合穴にウェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハの背面側を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、該テンプレートブランクに隣接するバッキングパッド面に該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリング状の溝を穿設したバッキングパッドを用いて研磨することを特徴とするウェーハの研磨方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
, B24B 1/00
, B24B 37/04
