特許

J-GLOBAL ID：200903046764259314

インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： 島田 勝人 ,  酒井 真理 ,  矢崎 士郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312368
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094688
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 振動板の初期撓み量を低減したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12が画成される流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面に振動板を介して設けられ且つ少なくとも下電極60、圧電体層70及び上電極80を有する圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電素子に積層する層と共に積層されて圧縮応力を有する圧縮膜50を具備し、当該圧縮膜50は、前記圧力発生室に対向する領域の少なくとも一部で前記圧縮膜50の厚さ方向の少なくとも一部を除去することにより、膜全体の応力を低減する。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面に振動板を介して設けられ且つ少なくとも下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電体層と共に積層される少なくとも一層が圧縮応力を有する圧縮膜であり、当該圧縮膜は、前記圧力発生室に対向する領域の少なくとも一部で厚さ方向の少なくとも一部が除去されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (17件)：

2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG53 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP34 ,  2C057AP51 ,  2C057AP75 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14