特許

J-GLOBAL ID：200903046774047005

検査装置における回転ステージ自動位置補正制御方法

発明者： 菊住 真也 ,  久保田 三郎 ,  木田 勝啓
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岡崎 謙秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075735
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280440
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、ラインセンサカメラと回転ステージ及び検査対象ワークとの位置関係を自動測定し、測定データに基づき回転ステージとラインセンサカメラの位置関係を自動的に制御することにより、制御性が高く、検査精度の高い検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の検査装置における回転ステージを自動位置補正制御方法は、回転ステージ1の位置を検出するためのラインセンサカメラ3と、ラインセンサカメラ3による撮像データから回転ステージ1と検査対象ワーク2との位置関係を導出する演算手段5と、演算結果に基づき、回転ステージ1を水平方向、垂直方向に駆動するピエゾ素子6a、6b等のアクチュエータを有し、回転ステージ1とラインセンサカメラ3の位置関係を自動的に制御するものである。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハ等の検査対象ワークを回転ステージ上に搭載し、ラインセンサカメラを用いて撮像する検査装置において、前記ラインセンサカメラによる回転ステージと検査対象ワークの撮像データより、回転ステージの回転角度における検査対象ワークのずれを回転ステージの位置補正値として演算、記憶する手段と、前記位置補正値に基づき、回転ステージの位置を回転角度毎に自動補正するアクチュエータを有し、回転ステージを位置補正値に基づき位置補正することにより、ラインセンサカメラに対する検査対象ワークの回転中心が常に一定になるように制御することを特徴とする検査装置における回転ステージ自動位置補正制御方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G05D 3/00

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  G01B 11/00 A ,  G05D 3/00 G

Fターム (28件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL57 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  5F031CA02 ,  5F031JA03 ,  5F031JA27 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031KA11 ,  5F031LA10 ,  5F031MA33 ,  5H303AA06 ,  5H303DD14 ,  5H303GG14 ,  5H303HH01