特許

J-GLOBAL ID：200903046782840040

基板の保管容器およびその保管容器を備えるX線露光装置

発明者： 春見 和之 ,  田中 裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228616
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045773
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 保管対象となる基板の回転方向のずれを拘束し、面内方向の位置決めをして容器内に基板を保持する。【解決手段】 基板を保管する保管容器は、ベース部(20)上に設置され、基板(10)に形成されたノッチと当接する第1の当接部(1)と、ベース部上に設置され、基板における第1外周部と当接し、第1の当接部との協働により基板の回転方向のずれを拘束する第2の当接部(2)と、ベース部上に設置され、基板における第2外周部と当接し、第2の当接部との協働により基板の面内方向の位置決めをする第3の当接部(3)とを有する。

請求項（抜粋）：

基板を保管する保管容器であって、ベース部上に設置され、基板に形成されたノッチと当接する第1の当接部と、前記ベース部上に設置され、前記基板における第1外周部と当接し、前記第1の当接部との協働により該基板の回転方向のずれを拘束する第2の当接部と、前記ベース部上に設置され、前記基板における第2外周部と当接し、前記第2の当接部との協働により該基板の面内方向の位置決めをする第3の当接部と、を有することを特徴とする保管容器。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/14 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 1/14 A ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/30 503 E ,  H01L 21/30 531 M

Fターム (25件)：

2H095BA01 ,  2H095BA10 ,  2H095BC28 ,  2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097JA02 ,  2H097LA10 ,  5F031CA01 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031DA12 ,  5F031DA13 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA19 ,  5F031FA04 ,  5F031KA03 ,  5F031KA14 ,  5F031MA27 ,  5F046AA21 ,  5F046EA30 ,  5F046EB02 ,  5F046EC05 ,  5F046GD04 ,  5F046GD09