特許
J-GLOBAL ID：200903046786285050
能動型光学素子及びこれを用いた画像表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067166
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267020
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】マイクロ光学素子を移動させる能動型光学素子においては、光導入部との間に非常に精度の良い間隔を確保しなければならない。また、吸着防止処理後信頼性を確保する為確実な封止が必要となる。一方、電極間に絶縁膜を入れると帯電し、静電吸着により繰り返し耐久性を悪化させる問題が生ずる。【解決手段】素子の固定、封止用壁を樹脂転写で行う。壁に吸着防止処理等を行う為の穴を設ける。絶縁膜を廃止しストッパを光導入プリズムの下面とする。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成したマイクロアクチュエータと、該マイクロアクチュエータに接続されたマイクロ光学素子とを有し、前記マイクロアクチュエータの変形によって前記マイクロ光学素子が移動して光の挙動を変化させる素子を、単独、又はアレイ状に整列させて構成し、更に前記基板上に前記素子を取囲む壁を設け、該壁の上面には、光を導入するためのガラス、または樹脂を接続させた能動型光学素子において、前記マイクロ光学素子が移動する空間を、前記マイクロ光学素子を樹脂の転写によって作成する時に用いる転写型に予め段差を設けておき、前記マイクロ光学素子の上面と前記壁の上面を樹脂に同時に前記転写型で転写して形成したことを特徴とする能動型光学素子。
Fターム (6件)：
2H041AA16
, 2H041AB12
, 2H041AB40
, 2H041AC06
, 2H041AZ00
, 2H041AZ08
