特許

J-GLOBAL ID：200903046793118070

接地ボディ・コンタクトを有するSOIアクティブ・ピクセル・セル設計

発明者： ジェフリー・ビー・ジョンソン ,  ホン=サム・ピー・ウォン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000073
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251569
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 それぞれがシリコンの分離されたセル内に形成されたアクテイブ・ピクセル・センサ(APS)素子のアレイを有する感光素子を提供する。【解決手段】 各セルはその周りに絶縁隔壁10を有し、下にある基板14上に形成された絶縁層12上に存在する。各APS素子のピン止め層24とボディ20の間の垂直接触を行う半導体コネクタ18は、各セルに隣接する絶縁隔壁の一部の領域を占めるように形成するのが好ましい。半導体コネクタは各セルごとの単一垂直接続18でもよく、また複数のAPS素子を接続する長いストリップ60(図10)でもよい。半導体コネクタ18は下の絶縁層12に達するまで延ばしてもよく、また絶縁層12を貫通して基板14にまで延ばしてもよい。基板14は各APS素子のボディ20とピン止め層24を接地および相互接続する働きをする。本発明はまた感光素子の製造方法も含む。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された半導体層と、前記半導体層を貫通して、前記絶縁層まで延び、前記半導体層を半導体材料の複数のセルに分割する絶縁隔壁と、前記半導体層内の前記複数のセルのうちの対応するセル内に構築された複数の感光性アクティブ・ピクセル・センサとを有する感光素子。