特許

J-GLOBAL ID：200903046800188585

ウエハ保管設備

発明者： 守田 裕美 ,  河野 等 ,  山下 哲平 ,  村田 正直
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-009401
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106406
出願日： 1991年01月29日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 保管中における自然酸化膜の成長を抑制することができるウエハ保管設備を提供する。【構成】 背部にフイルタ20を取着したウエハ保管棚15、16と、このウエハ保管棚の各区分棚に19対してウエハカセットを出入れする移載装置70と、上記ウエハ保管棚の背部に不活性流体を送り上記フイルタ20ーを通して上記移載装置70側に向かう流れを発生させる流体循環装置と、下部排気口とを備えるウエハ保管庫10、このウエハ保管庫の入庫口に設けられた入庫側パスボックス30、上記ウエハ保管庫の出庫口に設けられた出庫側パスボックス31、上記不活性流体を貯えた不活性流体貯留タンク40、この不活性流体貯留タンクから上記ウエハ保管庫へ伸び第1のバルブ51を有する第1のガス供給配管41、上記不活性流体貯留タンクから上記入庫側パスボックスへ伸び第2のバルブ52を有する第2のガス供給配管42、上記不活性流体貯留タンクから上記出庫側パスボックスへ伸び第3のバルブ53を有する第3のガス供給配管43、これらのバルブを制御する流量制御装置40を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

背部にフイルタを取着したウエハ保管棚と、このウエハ保管棚の各棚に対してウエハカセットを出入れする昇降可能な移載機構を搭載し上記ウエハ保管棚の前面通路に配設されたレール上を走行する移載装置と、上記ウエハ保管棚の背部に不活性流体を送り上記フイルターを通して上記前面通路側に向かう流れを発生させる流体循環装置と、下部排気口とを備えるウエハ保管庫、このウエハ保管庫の入出庫口に設けられたパスボックス、上記不活性流体を貯えた不活性流体貯留タンク、この不活性流体貯留タンクから上記ウエハ保管庫へ伸び第1のバルブを有する第1のガス供給配管、上記不活性流体貯留タンクから上記パスボックスへ伸び第2のバルブを有する第2のガス供給配管、これらのバルブを制御する流量制御装置を備えることを特徴とするウエハ保管設備。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 521 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-172127
  
• 特開昭60-044404
  
• 特開昭62-104036