感光性被膜の剥離方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164101
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【構成】被加工基板の周囲に反射鏡を設置し、紫外線照射ランプを被加工基板と同じ高さの位置に設置し、被加工基板を真空ポンプによって回転ステージに吸着させ回転させながら紫外線照射ランプから紫外線を照射し、反射鏡によって紫外線を感光性被膜の全面に照射し後、不要となった感光性被膜を現像によって剥離する。【効果】感光性被膜の剥離残渣を完全に除去することが可能となり、従って隣接パターンの短絡を防止できる。また、MEK等の危険物を使用しないため、感光性被膜の剥離工程を自動化することが可能になる。

請求項（抜粋）：

感光性被膜を塗布してフォトリソグラフィ法によって所望のパターニングを完了した後、被加工基板に対して紫外線を照射して前記感光性被膜を全面的に露光し、それをアルカリ現像液で現像することによって不要となった前記感光性被膜を剥離する感光性被膜の剥離方法において、紫外線照射ランプを前記被加工基板と同じ高さの位置に設置し、前記被加工基板の周囲に反射鏡を設置し、前記被加工基板を真空ポンプによって回転ステージに吸着させて回転させながら前記反射鏡によって前記紫外線を反射させながら照射して前記感光性被膜を露光した後、前記アルカリ現像液によって現像して不要となった前記感光性被膜を剥離することを含むことを特徴とする感光性被膜の剥離方法。

前のページに戻る