特許
J-GLOBAL ID：200903046813782354
酸化物超電導テープ製造用加熱ヒータおよび酸化物超電導テープの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016636
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228741
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：
【要約】【目的】 酸化物超電導体の前駆体薄膜を理想的な温度で加熱できる加熱ヒータの提供及び良好な臨界電流密度を示す酸化物超電導テープの製造方法の提供。【構成】 発熱体とこれを収納するケース体とケース体上面を覆う熱板とから構成され、熱板の基材摺動部分に基材幅より狭い開口幅を有する開口部が形成されてなる加熱ヒータを真空チャンバ内に設置し、加熱ヒータの開口部上面を通過するようにテープ状の基材を摺動させ基材を成膜時に望まれる所定の成膜温度に加熱しつつ基材上面に酸化物超電導層の前駆体薄膜を形成することを特徴とする。【効果】 超電導特性の優れた超電導テープを得ることができる。
請求項（抜粋）：
基材上に酸化物超電導層の前駆体を成膜法により形成するための真空チャンバの内部に設けられて上面を通過するテープ状の基材を加熱する加熱ヒータおいて、前記加熱ヒータが、発熱体とこれを収納するケース体と前記ケース体上面を覆う熱板とから構成され、前記熱板の基材摺動部分に基材幅より狭い開口幅を有する開口部が形成されてなることを特徴とする酸化物超電導テープ製造用ヒータ。
IPC (5件)：
C23C 14/24
, C23C 14/34
, H01B 13/00 565
, H01B 12/06 ZAA
, H05B 3/64
