特許

J-GLOBAL ID：200903046813792082

振動アクチュエータ

発明者： 松本 豪 ,  高木 忠雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339514
公開番号（公開出願番号）：特開2001-161080
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 低い電圧で駆動可能であって、不要な振動による不具合を回避できる振動アクチュエータを提供する。【解決手段】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アクチュエータにおいて、振動子40は、2枚の同じ厚さの電気機械変換素子41a,41bと、それらの電気機械変換素子41a,41bに挟持される1枚の弾性部材41cとからなる積層構造である。

請求項（抜粋）：

放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、2枚の同じ厚さの電気機械変換素子とそれらの電気機械変換素子に挟持される1枚の弾性部材とからなる積層構造であること、を特徴とする振動アクチュエータ。

Fターム (24件)：

5H680AA00 ,  5H680AA06 ,  5H680AA18 ,  5H680AA19 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BB15 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD55 ,  5H680DD67 ,  5H680DD85 ,  5H680DD95 ,  5H680DD97 ,  5H680FF08 ,  5H680FF21 ,  5H680FF23 ,  5H680FF25 ,  5H680FF33 ,  5H680GG02 ,  5H680GG11 ,  5H680GG42