カラーフイルタの製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160675
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015414
出願日： 1995年06月27日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の段差、追随性不良のない、画素の欠落のない多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供する。【構成】 1二色目以降の着色された感光性樹脂層が基板に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる工程で、2現像工程の間に、加熱を行うことにより、二色目以降の着色された感光性樹脂層をベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移行工程並びに二色目以降の現像工程の前に(i)現像液でリンスする工程と、(ii)水洗して現像液を除去する工程と、(iii)加熱乾燥して前記(ii)の水を除去する工程とを含むことからなるカラーフイルタの製造法。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、(1)着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、(2)パターン状に露光する工程及び(3)現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法において、(a)二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる工程、(b)前記(1)の工程と前記(3)の工程の間に、加熱を行うことにより、二色目以降の着色された感光性樹脂層をベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移行工程並びに(c)二色目以降の前記(3)の現像工程の前に(i)現像液でリンスする工程と、(ii)水洗して現像液を除去する工程と、(iii)加熱乾燥して前記(ii)の水を除去する工程とを含むことからなることを特徴とするカラーフイルタの製造法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/38 511 , G03F 7/40 521

FI (3件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/38 511 , G03F 7/40 521

前のページに戻る