研磨用パッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025934
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197412
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】小さい力で定盤から簡単且つ迅速に剥すことができる研磨用パッドを得る。【構成】パッド本体2の裏面に研磨装置の定盤に接着するための接着フィルムを貼り付け、該接着フィルムに、定盤から剥離する際に切断可能な螺旋状の切断線5を設ける。

請求項（抜粋）：

裏面に研磨装置の定盤に接着するための接着フィルムを貼り付け、該接着フィルムに、定盤から剥離する際に切断するための切断線を設けてなることを特徴とする研磨用パッド。

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