特許

J-GLOBAL ID：200903046832069944

表面粗さ測定装置

発明者： 張 玉武 ,  片岡 正信
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-306414
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129849
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 短い演算時間でかつ誤差の小さいフィルタリング処理ができるローパスフィルタを備えた表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。【構成】 2段のIIRフィルタ151 ,152 により被測定物の断面曲線データからうねり曲線成分を求め、このうねり曲線成分を元の信号から引いて粗さ曲線成分を抽出する表面粗さ測定装置において、IIRフィルタ151 ,152 は、ζ=0.7134〜1.1083の範囲に設定された調整係数ζを持つ次の伝達関数G(s)=1/{(αs/ωc )2 +2ζ(αs/ωc )+1}で表されるフィルタ特性を有する。

請求項（抜粋）：

被測定物の断面曲線からローパスフィルタによりうねり曲線成分を求め、このうねり曲線成分を元の信号から引いて粗さ曲線成分を抽出する表面粗さ測定装置において、前記ローパスフィルタは、ζ=0.7134〜1.1083の範囲の調整係数を持つ下記の伝達関数で表されるフィルタを2段縦続接続して構成されていることを特徴とする表面粗さ測定装置。記G(s)=1/{(αs/ωc )2 +2ζ(αs/ωc )+1}s=jωω=2πf(f:周波数)ωc =2πfc (fc :カットオフ周波数)α=定数