特許
J-GLOBAL ID：200903046839262219
2次元位相情報検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096511
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296850
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 2次元的な光位相情報における位相変調を高速で検出すること。【構成】 変調装置24は、ヘテロダイン干渉計8〜14からの2次元信号をその時間的搬送周波数に対応するタイミングで強度変調する。この場合、ヘテロダイン干渉計が発生する2次元信号の強度変化の各点における時間的位相差は、ヘテロダイン干渉計に入力される光学的位相差(例えば、被測定面の凹凸等)に対応している。変調装置によって一様に強度変調された2次元信号の各点における強度波形は、この各点における時間的位相差に起因してその強度のピーク位置及びその値が変化する。よって、CCD32により上記の強度波形を積分して得られた2次元信号は、2次元的な位相情報の各点における光学的位相差を反映したものとなっているので、CCDで2次元並列に積算された2次元信号に基づいて位相情報の各点における光学的位相差を求めることができる。
請求項（抜粋）：
2次元的な位相情報を変換して所定の時間的搬送周波数にのった2次元信号光を発生する光ヘテロダイン干渉手段と、前記光ヘテロダイン干渉手段が発生する前記2次元信号を、前記所定の時間的搬送周波数に対応する所定のタイミング及び時間間隔で一様に強度変調する変調手段と、前記変調手段によって強度変調された前記2次元信号を、2次元並列に積算する積算手段と、を備える2次元位相情報検出装置。
IPC (2件)：
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