特許

J-GLOBAL ID：200903046839516474

粘着シ-ト

発明者： 須 美 崇 二 ,  近 藤 健 ,  江 部 和 義
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015860
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212526
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】 実質的にエージングなしで製造でき、ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられる、粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるようなウエハ表面保護シートを提供すること。【解決手段】 本発明に係る粘着シートは、基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとからなるカルボキシル基含有共重合体と、中和剤と、エネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとからなるカルボキシル基含有共重合体と、中和剤と、エネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴とする粘着シート。

IPC (11件)：

C09J 7/02 ,  B32B 27/00 ,  C08F 2/00 ,  C08F 2/46 ,  C08F220/00 ,  C08F220/26 ,  C08F222/00 ,  C08F290/06 ,  C09J 4/02 ,  C09J 4/06 ,  H01L 21/304 631

FI (11件)：

C09J 7/02 Z ,  B32B 27/00 M ,  C08F 2/00 C ,  C08F 2/46 ,  C08F220/00 ,  C08F220/26 ,  C08F222/00 ,  C08F290/06 ,  C09J 4/02 ,  C09J 4/06 ,  H01L 21/304 631

Fターム (92件)：

4F100AK04A ,  4F100AR00B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100CA30B ,  4F100CB05B ,  4F100GB41 ,  4F100JA07B ,  4F100JB05B ,  4F100JB14B ,  4F100JL13B ,  4J004AA01 ,  4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004AB07 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J011CA01 ,  4J011CA08 ,  4J011CC10 ,  4J011QA01 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA63 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011WA02 ,  4J011WA06 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA04 ,  4J027BA06 ,  4J027CA25 ,  4J027CC03 ,  4J027CC05 ,  4J027CD09 ,  4J040DF011 ,  4J040DF012 ,  4J040DF041 ,  4J040DF042 ,  4J040DF051 ,  4J040DF052 ,  4J040DG001 ,  4J040DG002 ,  4J040DG011 ,  4J040DG012 ,  4J040DN061 ,  4J040DN062 ,  4J040EH012 ,  4J040FA141 ,  4J040FA142 ,  4J040FA261 ,  4J040FA262 ,  4J040FA271 ,  4J040FA272 ,  4J040FA281 ,  4J040FA282 ,  4J040FA291 ,  4J040FA292 ,  4J040GA07 ,  4J040HA216 ,  4J040HC01 ,  4J040HC22 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB08 ,  4J040JB09 ,  4J040KA10 ,  4J040LA01 ,  4J040NA20 ,  4J100AJ01P ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL41P ,  4J100AL46P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 粘着剤組成物およびその利用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-030172   出願人：リンテック株式会社
• 感圧接着剤とその接着シ-ト類
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345446   出願人：日東電工株式会社
• 特開昭49-005145